南北朝時代中期、貞治元年（1362年）の開創と伝えられる寺院。開創の地は、後世の新橋村（多摩郡野方領下沼袋村から枝分かれした村。）であったが、後に現在の寺地に移る。草創期のご本尊は薬師瑠璃光如来であり、山号と寺号はこのことに由来する。現在のご本尊は鎌倉時代後期の作とされる不動明王立像である。旧上沼袋村の伊藤家とその一族の菩提寺としての特色を持っていたことから、伊藤寺とも呼ばれていた。明治16年、霊場巡拝の信仰の一つ「御府内八十八カ所」の第四十八番霊場（林松院）の弘法大師像が奉安されたことから、第四十八番霊場となる。檀信徒や地域の要望により幼児期の教育の場として、昭和29年に沼袋幼稚園を設立する。